| タイトル | よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み |
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| タイトルヨミ | ﾖｸ/ﾜｶﾙ/ｻｲｼﾝ/ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ/ｾｲｿﾞｳ/ｿｳﾁ/ﾉ/ｷﾎﾝ/ﾄ/ｼｸﾐ |
| サブタイトル | ファブから検査まで製造装置を俯瞰する |
| サブタイトルヨミ | ﾌｧﾌﾞ/ｶﾗ/ｹﾝｻ/ﾏﾃﾞ/ｾｲｿﾞｳ/ｿｳﾁ/ｵ/ﾌｶﾝ/ｽﾙ |
| サブタイトル | 製造技術の神髄 |
| サブタイトルヨミ | ｾｲｿﾞｳ/ｷﾞｼﾞｭﾂ/ﾉ/ｼﾝｽﾞｲ |
| 著者 | 佐藤／淳一‖著 |
| 著者ヨミ | ｻﾄｳ,ｼﾞｭﾝｲﾁ |
| 著者紹介 | 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー（株）入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。 |
| 版 | 第３版 |
| シリーズ | 図解入門 |
| シリーズヨミ | ｽﾞｶｲ/ﾆｭｳﾓﾝ |
| シリーズ | Ｖｉｓｕａｌ Ｇｕｉｄｅ Ｂｏｏｋ |
| シリーズヨミ | ｳﾞｨｼﾞｭｱﾙ/ｶﾞｲﾄﾞﾌﾞｯｸ |
| シリーズサブタイトル | Ｈｏｗ‐ｎｕａｌ |
| シリーズサブタイトルヨミ | ﾊｳﾆｭｱﾙ |
| 出版者 | 秀和システム |
| 出版者ヨミ | ｼｭｳﾜ/ｼｽﾃﾑ |
| 出版地 | 東京 |
| 出版年月 | 2019.12 |
| ページ数等 | 261p |
| 大きさ | 21cm |
| 価格 | ¥2000 |
| ISBN | 978-4-7980-6037-8 |
| 書誌・年譜・年表 | 文献：ｐ２６１ |
| 内容紹介 | 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。 |
| 件名 | 半導体 |
| 件名ヨミ | ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ |
| ジャンル名 | 技術・テクノロジー（01） |
| ジャンル名詳細 | 電子・半導体（120080080000） |
| NDC9版 | 549.8 |
| NDC10版 | 549.8 |
| 利用対象 | 一般（L） |
| 表現種別 | テキスト（A1） |
| 機器種別 | 機器不用（A） |
| キャリア種別 | 冊子（A1） |
| 装丁コード | ソフトカバー（10） |
| 刊行形態区分 | 単品（A） |
| 索引フラグ | あり（1） |
| テキストの言語 | 日本語（jpn） |
| 出版国 | 日本国（JP） |